さらに、本実施形態では、ハウジング１２の軸線方向先端側の支持部１２ｋと、軸線方向基端側のシリンダ構造１２ｓの内面との間に、これらの間の内側寸法（内径）の差に相当する段差を備えた内側段部１２ｅが設けられるとともに、作動体１３の軸線方向先端側の被支持部１３ｋと、軸線方向基端側のシリンダ摺接部１３ｓとの間に、これらの間の外側寸法（外径）の差に相当する段差を備えた外側段部１３ｅが設けられる。これにより、シリンダ構造１２ｓと作動体１３の受圧部１３ｄ及びシリンダ摺接部１３ｓにより構成されるシリンダ構造の作動面積を大きく確保して大きな把持力を容易に実現できるとともに、軸線方向先端側の構造のコンパクト化が容易化される。
前記筒体と前記軸体とにわたり設けられ、前記軸体を前記コイルばねの付勢により移動される先端方向停止位置と加工時に加工反力により移動される後端方向停止位置との間を移動可能に位置規制する位置規制部と、
次に、上記とは別の機能実現手段１００Ｃについて説明する。この機能実現手段１００Ｃは、コレット位置検出器Ｓ２、又は、把持態様検出器Ｓ３～Ｓ５の少なくともいずれか一つの検出結果に基づいて、ハンドリングユニット１０の位置及び姿勢（或いは、位置と姿勢の少なくとも一方）を修正する手段である。図１０において実線で示すフィンガー部１１ｃの位置Ｆ１が把持対象物Ｐに対する適正な位置であり、このときのハンドリングユニット１０は適正な位置及び姿勢にある。一方、上記ユニット駆動系の作動ずれなどにより、フィンガー部１１ｃの軸芯（軸線１０ｘ）が把持対象物Ｐに対して上記の正規の位置Ｆ１からずれ、異なる位置Ｆ２やＦ３に配置される場合がある。例えば、位置Ｆ２では、複数のフィンガー部１１ｃの軸芯が把持対象物Ｐの中心からやや図示右側へずれている。このような微妙な位置ずれを検出することは難しいが、例えば、上記の把持態様検出器Ｓ３～Ｓ５を用いることにより、複数のフィンガー部１１ｃが非把持状態から把持状態へ移行する際に、各フィンガー部１１ｃに対応する弾性変形部１１ｂの変形量が検出信号Ｓｄによって時間的にずれて検出されるため、この時間ずれに対応する位置ずれ量と、各フィンガー部１１ｃの時間の先後に対応するずれ方向とを推定して、ユニット駆動系の位置制御量を修正する。なお、複数のフィンガー部１１ｃが把持状態となり、把持対象物Ｐの把持が完了した時点では、コレット１１の自動調芯機能により、把持対象物Ｐの中心はコレット１１の軸芯、すなわち軸線１０ｘに整合した状態とされる。
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さらに、本実施形態では、コレット１１がハウジング１２内の軸線方向の既定の範囲で移動可能に構成されるため、ハンドリングユニット１０が把持対象物へ向けてアクセスする際において、ハンドリングユニット１０の位置制御不良、把持対象物の配置不良・形状不良などによってフィンガー部１１ｃが外部との間で異常な干渉を生じた場合でも、軸線１０ｘに沿った軸線方向基端側への後退によってコレット１１の損傷を回避することができる。また、その回避動作によっても、上記基準部１１ａと支持面部１３ｂの摺接構造によってコレット１１の軸線１０ｘに対する同軸状の位置及び姿勢は保持されるため、その後の作動精度が低下する虞はない。
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上海市靜安區六八八廣場、港匯中心二座、恆匯國際大廈、環智國際大廈、不夜城廣場（收租物業）
図４には、第３実施形態のハンドリングユニット３０の縦断面図を示す。この第３実施形態では、第１実施形態と同様のコレット３１、ハウジング３２及び作動体３３を備え、第１実施形態と同様のコネクタ３８を介して流体供給口３２ｐから流体がシリンダ構造内に供給可能になっている。このため、第１若しくは第２実施形態と同様に構成される部分の説明は省略する。ただし、本実施形態は、コレット３１の複数のフィンガー部３１ｃがハウジング３２の先端部から軸線方向先端側へ突出している点で第１実施形態と異なる。ここで、フィンガー部３１ｃの把持面３１ｇはハウジング３２の先端部より突出した位置にあるため、把持動作時において、ハウジング３２の先端部が把持対象物の周囲の構造と干渉しにくくなることから、より広範な状況下においても把持動作を可能とすることができる。